目前，三坐標檢測已廣泛用于機械制造業、汽車工業、電子工業、航空航天工業和國防工業等各部門，成為現代工業檢測和質量控制不可缺少的測量設備。涉及的部門和行業非常廣泛。在應用范圍里面，三坐標檢測也基本上涵蓋了機械零件及電子元器件和各種形狀公差和位置公差。（見下表）：
名稱 | 釋 義 |
直 線 度 | 直線度是表示零件上的直線要素實際形狀保持理想直線的狀況。也就是通常所說的平直程度。 直線度公差是實際線對理想直線所允許的最大變動量。也就是在圖樣上所給定的，用以限制實際線加工誤差所允許的變動范圍。 |
平 面 度 | 平面度是表示零件的平面要素實際形狀，保持理想平面的狀況。也就是通常所說的平整程度。 平面度公差是實際表面對平面所允許的最大變動量。也就是在圖樣上給定的，用以限制實際表面加工誤差所允許的變動范圍。 |
圓 度 | 圓度是表示零件上圓的要素實際形狀，與其中心保持等距的情況。即通常所說的圓整程度。 圓度公差是在同一截面上，實際圓對理想圓所允許的最大變動量。也就是圖樣上給定的，用以限制實際圓的加工誤差所允許的變動范圍。 |
圓 柱 度 | 圓柱度是表示零件上圓柱面外形輪廓上的各點，對其軸線保持等距狀況。 圓柱度公差是實際圓柱面對理想圓柱面所允許的最大變動量。也就是圖樣上給定的，用以限制實際圓柱面加工誤差所允許的變動范圍。 |
線 輪 廓 度 | 線輪廓度是表示在零件的給定平面上，任意形狀的曲線，保持其理想形狀的狀況。 線輪廓度公差是指非圓曲線的實際輪廓線的允許變動量。也就是圖樣上給定的，用以限制實際曲線加工誤差所允許的變動范圍。 |
面 輪 廓度 | 面輪廓度是表示零件上的任意形狀的曲面，保持其理想形狀的狀況。 面輪廓度公差是指非圓曲面的實際輪廓線，對理想輪廓面的允許變動量。也就是圖樣上給定的，用以限制實際曲面加工誤差的變動范圍。 |
平 行 度 | 平行度是表示零件上被測實際要素相對于基準保持等距離的狀況。也就是通常所說的保持平行的程度。 平行度公差是：被測要素的實際方向，與基準相平行的理想方向之間所允許的最大變動量。也就是圖樣上所給出的，用以限制被測實際要素偏離平行方向所允許的變動范圍。 |
垂 直 度 | 垂直度是表示零件上被測要素相對于基準要素，保持正確的90°夾角狀況。也就是通常所說的兩要素之間保持正交的程度。 垂直度公差是：被測要素的實際方向，對于基準相垂直的理想方向之間，所允許的最大變動量。也就是圖樣上給出的，用以限制被測實際要素偏離垂直方向，所允許的最大變動范圍。 |
傾 斜 度 | 傾斜度是表示零件上兩要素相對方向保持任意給定角度的正確狀況。 傾斜度公差是：被測要素的實際方向，對于基準成任意給定角度的理想方向之間所允許的最大變動量。 |
對 稱 度 | 對稱度是表示零件上兩對稱中心要素保持在同一中心平面內的狀態。 對稱度公差是：實際要素的對稱中心面(或中心線、軸線)對理想對稱平面所允許的變動量。該理想對稱平面是指與基準對稱平面(或中心線、軸線)共同的理想平面。 |
同 軸 度 | 同軸度是表示零件上被測軸線相對于基準軸線，保持在同一直線上的狀況。也就是通常所說的共軸程度。 同軸度公差是：被測實際軸線相對于基準軸線所允許的變動量。也就是圖樣上給出的，用以限制被測實際軸線偏離由基準軸線所確定的理想位置所允許的變動范圍。 |
位 置 度 | 位置度是表示零件上的點、線、面等要素，相對其理想位置的準確狀況。 位置度公差是：被測要素的實際位置相對于理想位置所允許的最大變動量。 |
圓 跳 動 | 圓跳動是表示零件上的回轉表面在限定的測量面內，相對于基準軸線保持固定位置的狀況。 圓跳動公差是：被測實際要素繞基準軸線，無軸向移動地旋轉一整圈時，在限定的測量范圍內，所允許的最大變動量。 |
全 跳 動 | 全跳動是指零件繞基準軸線作連續旋轉時，沿整個被測表面上的跳動量。 全跳動公差是：被測實際要素繞基準軸線連續的旋轉，同時指示器沿其理想輪廓相對移動時，所允許的最大跳動量。 |
上表基本涵蓋了工件檢測的內容。利用三坐標檢測手段能更好的判斷工件的實際要素與理想要素之間的誤差。
